Филтър от синтерован порест металелемент е термин от машиностроенето, пуснат през 2021 г. Това е метален порест филтърен елемент, направен от метални прахове като неръждаема стомана, титаниева сплав, сплав на базата на никел и т.н., чрез студено изостатично пресоване, високо-температурно синтероване във вакуум и процеси на заваряване. Принадлежи към прецизните компоненти в промишленото филтриращо оборудване. Може да филтрира примеси в течности и газове, да постигне прецизно филтриране на ниво микрометър и има характеристиките на ефективна филтрация, устойчивост на корозия, висока механична якост, устойчивост на висока температура и възможност за многократна употреба. Не изисква лепила и може да контролира структурата на порите чрез регулиране на размера на частиците на праха и параметрите на синтероване. Точността на филтриране е 0,5-200 μm. Това са спецификациите, произведени от NAVI Titanium. Ако имате различни спецификации, можете да ги изпратите на нашия екип по продажбите и ние ще се свържем със старшия технически персонал на NAVI Titanium, за да предоставим персонализирани услуги за вас.
NAVI Titanium е специализирана в синтеровани порести материали, произведени от различни метални прахове. Ние предлагаме персонализирани решения, за да отговорим на изискванията за филтриране, въздухопропускливост и поток на различни индустриални приложения.
Решение на NAVI Titanium
Следните технически спецификации са предназначени като общи инженерни справки и могат да бъдат коригирани, за да отговорят на изискванията на отделните проекти.
NAVI Titanium® предлага разнообразни опции за -клас на производство, проектирани да отговарят на различните условия на обслужване и изисквания за производителност. Сравнителната таблица по-долу обобщава наличните опции за материали, типични характеристики и препоръчителни съображения за избор, предоставяйки на инженерите практическа справка при определяне на филтриращи компоненти за индустриални приложения.
NAVI Титаниев високопрецизен синтерован порест метален филтър: Персонализиращи се филтриращи елементи от неръждаема стомана 316L, титан, никел, със стабилна точност на филтриране на микрон-ниво, без риск от отделяне на материал, идеален за тежки работни условия като висока температура, силна киселина и високо налягане. Приемаме както поръчки за малки-партиди лабораторни проби, така и големи-промишлени поръчки на едро, с гарантирана бърза доставка.
Приложение
Theфилтър от синтерован порест металелемент, със своите основни предимства на три-измерна градиентна пореста структура, устойчивост на висока температура, силна устойчивост на корозия и повтаряща се регенерация при висока-температура, обхваща десетки подсектори от високо-стратегически нововъзникващи индустрии до традиционно индустриално надграждане във всички сценарии. Неговите основни приложения могат да бъдат разделени в пет категории:
Терминално пречистване на специален процес: прихващане на наночастици от 0,003 μm в специални газове като силан и волфрамов хексафлуорид, намаляване на дефектите на частиците на повърхността на CVD пластини с 85% и увеличаване на добива със 7 процентни пункта.
Свръхчиста мокра химическа филтрация: окончателно пречистване на фоторезист и разтвор за ецване, контролиране на утаяването на метални йони на ниво ppb, намаляване на точковите дефекти на фоторезиста с 90%.
Защита от частици на вакуумната система: монтирана на входа на вакуумната помпа на машината за йонна имплантация, за да блокира обратния поток на праха от добавката от замърсяване на пластината. Цикълът на поддръжка на вакуумната помпа е удължен от 6 месеца на 24 месеца.
Циркулационна микросреда на кутията за прехвърляне на вафли FOUP: Поддържайте вътрешното ниво на чистота на кутията за прехвърляне на ISO ниво 1 за дълго време, за да избегнете замърсяване с частици по време на прехвърляне на вафли.
Ръководство за закупуване
Контрол на качеството (QC)
AVI Titanium Exclusive Clean Filtration Solution Стойност:
Персонализирани филтърни елементи с нулево утаяване за целеви сценарии с висока чистота на полупроводници.
Персонализиране на части с микро форма, подходящи за затворени пространства.
Поддържа над 100 измивания и регенерации при висока-температура.
Помогнете на потребителите да намалят разходите за-дългосрочни филтриращи консумативи с над 60%.
Приложение
Контролът на чистотата на полупроводниковите процедури е основният спасителен пояс, който определя производителността на чипа, производителността и-дългосрочната надеждност. С усъвършенстваните процедури, преминаващи към 7nm, 3nm и дори по-напреднали възли, наноразмерни гранули, следи от метални йони и химически примеси под 0,1 μm в производствената среда могат директно да причинят отворени вериги, къси съединения или отклонение в производителността във веригите на пластини. Традиционните материали за перколатори вече не са подходящи за изключително високи изисквания за чистота.
Theфилтър от синтерован порест металразчита на три{0}}измерна градиентна пореста структура, образувана от високо-температурно синтероване на метален прах. Със своите основни предимства като устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, контролируема порьозност и повтаряща се регенерация при висока-температура, той се превърна в ключов компонент за подобряване на чистотата на цялата верига на процедурата за полупроводници. От транспортиране на специален газ в производството на пластини, ултрачисто пречистване на течност до улавяне на гранули във вакуумни системи, той цялостно изгражда чиста защитна бариера на нано ниво и е незаменим основен просмукващ елемент в усъвършенствани производствени линии за производство на чипове.
Приложение на прихващане на наноразмерни частици при транспортирането на газове със специални процедури
Десетки газове за специални процедури като силан, амоняк, аргон, волфрамов хексафлуорид и т.н., използвани в полупроводникови процедури, са медиите, които влизат в директен контакт с основните процедури на литография на пластини, ецване и отлагане. Дори нанометрови гранулирани примеси в газа на милиардно ниво могат да образуват фатални дефекти на веригата на повърхността на пластината. Традиционните перколатори от фибростъкло и полимери са склонни към отделяне на влакна и недостатъчна устойчивост на високи-температури при дългосрочна-ерозия от специални газове с висока-чистота, превръщайки се в нови източници на замърсяване с примеси. Перколаторите обаче са изцяло оформени чрез високо-температурно синтероване на метални прахове като неръждаема стомана 316L, никел с висока-чистота и титан, без риск от отделяне на влакна. Три{11}}измерната взаимосвързана пореста структура може да постигне ефективност на прихващане от над 99,99999% за 0,003 μm наномащабни гранули, прекъсвайки пътя на замърсяване на гранулите в газа от процедурата от източника.
В края на тръбопровода за доставка на силанов газ в процедурата за химическо отлагане на пари (CVD), той се монтира директно на входната позиция на реакционната камера, за да прихване напълно остатъчните наномащабни силициеви прахообразни гранули в силановия газ, като се избягва образуването на произволно разпределени малки дефекти на гранулите върху повърхността на пластината. Оперативните данни на местна производствена линия за усъвършенствана процедура за 12-инчови вафли показват, че след използване на високо-прецизни перколатори за пречистване на силановия газ на терминала, броят на дефектите на гранулите върху повърхността на вафлата при CVD процедурата е намалял с повече от 85%, а добивът на чипове директно се е увеличил със 7 процентни пункта. За разлика от обикновените перколаторни материали, неговият градиентен дизайн на структурата на порите постепенно намалява отвора на перколаторния елемент от страната на входа към страната на изхода, което не само има ултра-висок капацитет за задържане на прах, но също така постига максимална точност на колиране.
При дългосрочна-работа на специални газове с висок поток няма да има проблем с проникването на гранули, а непрекъснатият и стабилен експлоатационен живот може да достигне повече от 3 години, което е повече от 6 пъти повече от традиционните полимерни перколатори.
В -системата за защитен газ с аргон с висока чистота на фотолитографската процедура не само могат да бъдат прихванати твърди гранули в газа, но също така може да издържи на случайни мигновени удари с висока температура в тръбопровода, без проблем с деформация на материала и освобождаване на органични летливи вещества при високи температури като полимерни перколатори, избягвайки органични примеси от замърсяване на повърхността на фоторезиста и предотвратявайки фатални дефекти като напр. изкривяване и дупки във фотолитографския модел. В силно корозивните специални газови тръбопроводи като волфрамов хексафлуорид, използван в процедурата за ецване, се използват перколатори с висока-чистота на никел, които могат да издържат на дългосрочната-ерозия на силно корозивен флуорен газ. Самият перколатор няма да корозира и да утаява метални йони, като напълно елиминира риска от йонно замърсяване на пластиновите вериги с метални йони.
Приложение за дълбоко пречистване на свръхчисти химикали и течности за мокра процедура
В цикъла на мократа процедура при производството на полупроводници, чистотата на различни ултрачисти течности като ултрачиста вода, фоторезист, разтвор за проявител и разтвор за ецване директно определя качеството на повърхността на пластината. Традиционните полимерни перколаторни мембрани са склонни към разтваряне на мембраната и адитивно утаяване в силно корозивни мокри електронни химикали, освобождавайки следи от органични примеси и метални йони във течността, влияейки пряко върху работата на веригата на чипа. След специално ултра чисто електролитно полиране и пасивираща обработка, перколаторният елемент контролира общото утаяване на метални йони на ниво ppb, без да въвежда допълнителни примеси в ултра чистия флуид. В същото време той може да издържи дългосрочно-потапяне във високо-температурни мокри химикали при 180 градуса, което е подходящо за нуждите от пречистване на всички мокри химикали за полупроводникови процедури.
В циркулационната система за пречистване на разтвор за мокро ецване, той може да издържи на корозията на силно киселинен и силен алкален разтвор за ецване за дълго време, непрекъснато да прихваща гранулите на продукта за метално ецване, генерирани по време на процедурата за ецване, да избягва тези гранули от образуване на дефекти при повторно отлагане върху повърхността на вафлата, да удължава живота на циркулацията на разтвора за ецване повече от три пъти и значително да намалява разходите за потребление на химикали при мократа процедура. За разлика от мембраните за полимерно покритие за еднократна употреба, регенерацията може да се постигне чрез обратно промиване с ултрачиста вода и продухване с азот при висока-температура. Разликата в потока на колация след регенериране в сравнение с чисто нов перколаторен елемент е по-малко от 2% и той може да бъде многократно регенериран и използван повече от 100 пъти, което значително намалява дългосрочните-всеобхватни разходи за консумативи за процедура за колиране на полупроводници и свежда до минимум генерирането на отпадъци от колация, в съответствие с изискванията за зелено производство на индустрията за производство на полупроводници.
Приложение за защита от частици на пластинови носители и вакуумни системи
Носителите за трансфер на пластини и вакуумните реакционни камери в полупроводникови процедури са зоните, където пластините са изложени за най-дълго време. След като малки гранули в тези области попаднат върху повърхността на пластината, те могат директно да причинят повреда на веригата. В тези сценарии се създава цялостна система за динамична чиста защита. В системата за циркулация на газ в микросредата на FOUP (предна отворена кутия за прехвърляне на вафли) за прехвърляне на вафли, миниатюрно изгаряне-в перколатор служи като пречистващо ядро на циркулиращия въздух, като непрекъснато просмуква защитния газ вътре в прехвърлящата кутия и поддържа концентрацията на гранули вътре в прехвърлящата кутия на ултрачисто ниво на ISO 1 за дълго време.
Дори ако пластината е изложена за кратко на не ултра чиста среда по време на процедурата по прехвърляне, няма да има проблем със замърсяването на гранулите. В изпускателната система на високовакуумната реакционна камера на машината за йонно имплантиране, той е монтиран във входния край на вакуумната помпа, за да улавя голямо количество метални гранули с висока -енергия и прах от добавка, генерирани по време на процедурата за йонно имплантиране. От една страна, това предотвратява тези гранули да се върнат обратно във вакуумната камера и да замърсят пластината. От друга страна, той също предпазва скъпите лопатки на вакуумната помпа от ерозия и износване от високо-скоростни гранули, което значително удължава цикъла на поддръжка на вакуумната помпа. Данните за действителната работа на производствена линия с усъвършенствана процедура показват, че след инсталирането на aфилтър от синтерован порест метална входа на вакуума на машината за йонна имплантация средният цикъл на поддръжка на вакуумната помпа е удължен от 6 месеца на 24 месеца.
В същото време фоновата концентрация на гранули във вакуумната камера е намаляла с два порядъка, а броят на дефектите на вафлените гранули в процедурата на йонна имплантация е намалял със 75%. В системата за доставка на разтвор за полиране на процедурата за химическо механично полиране (CMP), перколаторът се използва за улавяне на полиращи гранули с големи -размери, които се агрегират в разтвора за полиране онлайн, като се избягват дълбоки дефекти на драскотини, причинени от големи гранули в процедурата за полиране на пластини, и се намалява грапавостта на повърхността на полираната пластина до под 0,1 nm, отговаряйки напълно на изискванията за плоскост на повърхността на пластината за усъвършенствана процедура. В края на модула за вентилатор FFU в чистата стая за производство на полупроводници се използва устойчив на висока-температура перколаторен елемент със синтерована пореста структура от метал, който може да издържи на условията на висока{6}}температурна дезинфекция с пара в работилницата и няма да причини счупване и отделяне на влакна след многократна висока{7}}температурна дезинфекция като фибростъкло перколатори. Може да поддържа стабилна концентрация на гранули в чистата стая за дълго време, за да отговаря на стандарта.
Стрийминг услугата на NAVI Titanium
NAVI Titanium приема малки партидни поръчки за лабораторни проби и големи{0}}мащабни промишлени партидни поръчки, като гарантира стабилна и бърза доставка. Конвенционалните продукти със стандартни спецификации могат да бъдат съчетани със съответните приоритетни логистични решения, за да се намалят рисковете от изчакване при прекъсване на производството.
За персонализирани синтеровани порести метални филтърни продукти с неправилни форми и големи размери, NAVI Titanium може да бъде съчетан със съответните специални схеми на опаковане, за да се избегне деформация на порестата структура по време на транспортиране, като се гарантира, че целостта на порите и свръхтоковата производителност на компонентите напълно отговарят на стандартите за инспекция на качеството на фабриката при пристигането на сайта на потребителя.
Като източник на фабрика за глобални промишлени клиенти, NAVI Titanium може да се адаптира към различни видове-трансгранични логистични нужди, като например морски превоз, въздушен транспорт и международна експресна доставка. Той може също така да осигури целенасочени логистични транспортни решения за филтри за полупроводникови сцени с изключително високи изисквания за чистота, съчетани с-ексклузивни запечатани опаковки без прах, за да се избегне въвеждането на допълнителни примеси по време на транспортиране, което може да повлияе на работата на продукта.
Можете директно да се свържете с екипа по продажбите на NAVI Titanium, да предоставите своя адрес за доставка, размер на поръчката и изисквания за време за доставка и да получите ексклузивни персонализирани логистични решения, точни логистични котировки и очаквани срокове за доставка.
Експлоатационни характеристики
1
Има добра филтрираща производителност (1-400 µm, порьозност 30% -70%);
2
Стабилна форма и компоненти с висока якост;
3
Устойчивост на висока температура (може да работи до 700 градуса);
4
Силна устойчивост на корозия;
5
Висока устойчивост на удар и променливо натоварване;
6
Добра дишаемост и разделителен ефект;
7
Добър ефект на обратно промиване, лесно регенериране на компоненти и т.н.;
8
Ефективността на колация е висока.
ЧЗВ
Какъв е очакваният експлоатационен живот на филтъра от синтерован порест метал?
+
-
Експлоатационният живот зависи от филтриращата среда, натоварването на частиците, температурата, налягането, скоростта на потока и честотата на почистване. При правилна работа и почистване филтърът може да осигури дългосрочна-работа.
Колко често трябва да се почиства филтърът?
+
-
Честотата на почистване зависи от нивото на замърсяване и спада на налягането. Филтърът обикновено трябва да се почиства, когато разликата в налягането достигне препоръчителната граница.
Може ли филтърът от синтерован метал да се почиства и използва повторно?
+
-
да Едно основно предимство на синтерованите порести метални филтри е способността им да бъдат почиствани и повторно използвани, при условие че филтърната структура и мрежата от пори не са повредени.
Какви методи за почистване можем да използваме?
+
-
В зависимост от приложението може да се използва обратно промиване, ултразвуково почистване, въздушно или газово обратно-пулсиране, почистване с разтворител или други одобрени методи. Методът трябва да бъде избран според филтърния материал и замърсителите.
Как да разберем кога филтърът трябва да бъде сменен?
+
-
Смяната може да е необходима, когато почистването вече не възстановява необходимия дебит или спад на налягането, или когато филтърът има механична повреда, корозия, деформация или постоянно запушване.
Популярни тагове: синтерован порест метален филтър, Китай синтерован порест метален филтър производители, доставчици, фабрика, Пореста плоча от неръждаема стомана, Синтерован бронзов въздушен ауспух, Синтерована бронзова плоча, Синтерован метален диск, синтерован метален филтър, Филтърна касета от синтерован метал
